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高端电子工艺设置装备排列

【1】集成电路设置装备排列

财产介绍:电控公司的集成电路设置装备排列以七星电子(南方微)(A股代码:002371)为载体,借助上市平台以及国家弛缓科技专项减速财产成长,产物以集成电路设置装备排列为主,并结合市场需要向光伏、后退先辈封装、LED、MEMS、光波导、功率器件以及化合物半导体等运用范畴拓展。七星电子(南方微)先后包袱11项国家弛缓科技02专项,技术水平倏地提升,补充了海外12英寸高端刻蚀机、PVD、CVD、氧化炉、洗涤机等设置装备排列技术空缺,大部门产物实现了了28nm的财产化认证,刻蚀机、PVD已经最先14nm技术的研发。技术才气到达同技术代海外干流设置装备排列水平。

 

12英寸28nm刻蚀机、PVD、氧化炉等设置装备排列均已经进入了中芯海外以及上海华力海外集成电路打造领军企业大生产线,多款产物已经成了LED、后退先辈封装、MEMS等泛半导体领的干流产物,市场开辟事变成果分明,刻蚀机产物败北打入台湾市场。其中12英寸、28nmHardMask PVD设置装备排列及12英寸55nm硅刻蚀设置装备排列已经作为中芯海外的Baseline设置装备排列,代表了海外设置装备排列的最高水平。

弛缓产物:刻蚀设置装备排列(Etch)、化学气相会集设置装备排列(CVD)、物理气相会集设置装备排列(PVD)立式炉、LPCVD、超精细洗涤机、ALD设置装备排列。

 

 

【2】锂电设置装备排列

ued体育可提供全套的锂离子电池极片生产所需的搅拌、涂布、辊压、分切设置装备排列,技术处于海外当先水平,靠远洋内同期水平。

 

败北研制大容量的(400L、600L、800L、1000L、2000L)搅拌设置装备排列,已经把握自动上料技术、搅拌历程法式化管制、搅拌料评估等技术;败北开收回了挤出式涂布设置装备排列,涂布速率10-20m/min(最高水平到达30m/min)。败北开收回了液压伺服辊压设置装备排列,极片轧制速率到达20-30m/min(最高水平到达60m/min),把握了极片热轧技术、辊电镀技术、AGC液压伺服管制型等焦点技术。

 

分切设置装备排列可分切卷材宽度达700mm,生产效力到达50m/min(最高水平到达80m/min),并开发了设置装备排列CCD测控体系(海外仅有)起飞了产物废品率。于此同时,败北的搭建了20000Ah锂离子能源电池中试线,为自产设置装备排列提供了工艺验证平台,具备提供整线解决办理的才气。