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南方华创两项产物荣获“第十二届中国半导体翻新产物以及技术样式”奖

4月12日,在南京召开的“2018中国半导体市场年会暨第七届集成电路财产翻新大会”上,南方华创自主翻新产物硅外延APCVD设置装备排列以及US700流量计拆散荣获“第十二届(2017年度)中国半导体翻新产物以及技术样式”奖。

硅外延APCVD设置装备排列运用于功率半导体以及集成电路范畴,兼容6吋以及8吋硅外延片的生产,实用于厚度5-130um范畴的N型以及P型外延工艺,具备成膜均匀性好、产能高、兼容性好、自动化水平高、占地面积小等短处。

US700气体品质流量管制器是最新研制的数字产物,具备管制精度高、低事变压差等特色,实用于半导体离子注入工艺及其余干系集成电路打造工艺。

“中国半导体翻新产物以及技术样式”奖旨在鼓舞鼓舞半导体财产界的科技翻新活动,评比活动由中国半导体行业协会、中国电子质料行业协会、中国电子专用设置装备排列产业协会以及中国电子报社配合构造。南方华创荣获这项夸赞,空虚展示企业的技术翻新气力以及业余范畴作出的突出结果。