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南方华创集成电路PVD设置装备排列安放量超过100腔室

南方华创PVD设置装备排列在集成电路干流生产线安放量超过100腔室。这是南方华创在集成电路范畴市场化蹊径上的里程碑式的超过,是国产高端PVD设置装备排列在集成电路范畴的片面冲破。

PVD设置装备排列是集成电路打造制程焦点的薄膜工艺设置装备排列。南方华创是海外集成电路PVD设置装备排列生产厂商,具备磁控溅射源构想、等离子发作与管制等多项焦点技术,并具备自主知识产权。南方华创率先推出的TiN Hardmask PVD体系、Al Pad PVD体系等产物,已经运用于28nm及14nm工艺制程。其中,TiN Hardmask PVD体系已经成了28nm大生产线中首台国产Baseline机台。TiN Hardmask PVD以精良的工艺表示得到海外干流客户的青睐。Al PadPVD体系,也顺遂打入海外提供链体系,实现了了在逻辑、存储以及新型表现等多个范畴的运用。

除了在集成度电路范畴运用外,南方华创PVD设置装备排列技术也蔓延运用于后退先辈封装以及半导体照明等范畴。从2012年首台设置装备排列进入产线运用最先,至今已经实现超过320个工艺腔室的销售安放,累计量产超过800万片。