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南方华创建式高温氧化炉批量中标8吋线样式

日前,南方华创微电子研制的8英寸立式氧化炉中标海外8英寸集成电路特色工艺线样式,得到批量订单,用于产物的高温氧化工艺制程。

近来几年来,南方华创的12英寸立式氧化炉设置装备排列,在技术研发团队间断攻关,以及与中芯海外等用户的缜密相助下,间断通过历程了90/65/45/28nm技术代集成电路生产线的工艺验证,实现产线运用。随着海外8英寸产线的培养与扩产,8英寸设置装备排列的需要监禁。南方华创操纵多年12英寸立式炉的技术累积及客户需要,针对于性开收回了全新的8英寸立式高温氧化炉。该产物基于对抗套通过多产验证的高波动性、高牢靠焦点管制体系架构,接收炼精度后退先辈温度场管制算法以及管制体系以及成熟的自主知识产权软件平台,实用于8英寸90nm及以上技术代的干氧氧化、湿氧氧化以及高温退火等工艺。

之后,南方华创已经具备8英寸半导体设置装备排列系列产物的市场提供才气,产物包罗多晶硅刻蚀机、博识宽比硅刻蚀机、氧化硅刻蚀机、金属刻蚀机、PECVDLPCVD、立式氧化炉、卧式疏散炉、单片洗涤机及全自动槽式洗涤机等工艺设置装备排列。