ued体育

ued体育

南方微电子Al Pad PVD设置装备排列再次进入武汉新芯产线

  日前,南方微电子再传喜报,公司自主研发的用于集成电路Al Pad工艺的eVictorA830 PVD设置装备排列再次败北move in武汉新芯,同时,该设置装备排列伊耸贾振患了多家海外大厂的后续订单。
  eVictor A830 PVD设置装备排列是一款运用于IC范畴的双传输平台12英寸物理气相会集设置装备排列,反对8腔室设置设置装备排列摆布,可能实现Al导电层、Ti(N)/Ta(N)反对层、TiN抗反射层等多种薄膜的制备,是NMC史上体型最弛缓,腔室至多的体系。它冲破了高温静电卡盘、厚铝间断会集、低刻蚀速率预洗涤工艺、双传输腔体系调度等关键技术,顺遂通过历程了MSTR验证,技术水平处于市场当先职位中央,具备工艺温度均匀性好、波动性高、产能大等特色,此外,高Throughput、低CoO以及CoC等特色给客户工艺集成提供了宽敞豁达的优化空间。
  Al Pad PVD顺遂赢患上武汉新芯的二次订单,再次move in 武汉新芯,是客户对于其技术才气及量产波动性的肯定,也是对于南方微电子技术气力的信托以及对于国产设置装备排列的认可。南方微电子将继续承袭以客户为导向的间断翻新,以“创举风雅,打造夷易近族自尊”为使命,为集成电路设置装备排列的国产化贡献力气。